GB/T 30868-2025 碳化硅单晶片微管密度测试方法

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标准编号：GB/T 30868-2025

标准名称：碳化硅单晶片微管密度测试方法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for micropipe density of monocrystalline silicon carbide

标准状态：即将实施

发布日期：2026-02-01

实施日期：2025-08-01

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H21

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准委

标准类别：方法

代替标准：GB/T 30868-2014,GB/T 31351-2014

起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所山东天岳先进科技股份有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司浙江晶瑞电子材料有限公司湖州东尼半导体科技有限公司浙江材孜科技有限公司中电晶华（天津）半导体材料有限公司河南中宜创芯发展有限公司宁波合盛新材料有限公司 北京天科合达半导体股份有限公司 广东天域半导体股份有限公司 安徽长飞先进半导体股份有限公司 南京盛鑫半导体材料有限公司 长飞光纤光缆股份有限公司 连科半导体有限公司 上海优睿谱半导体设备有限公司 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 厦门中芯晶研半导体有限公司

起草人：姚康 许蓉 王英明 张红岩 李素青 刘小平 晏阳 王志勇 李明达 张超越 赵新田 陈基生 佘宗静何烜坤齐菲丁雄杰欧阳鹏根潘文宾王明华胡润光孙毅赵丽丽