GB/T 14603-2025 电子气体 卤化物气体

该文档资源还未公开，可以先提交邮箱，会将资源位置发送给您!提交邮箱

需要人工协助寻找标准请加微信：msxygy666666 尽可能解决您的需要。

标准编号：GB/T 14603-2025

标准名称：电子气体 卤化物气体

标准类型：推荐性

标准英文：Electronic gas—Halide gas

标准状态：即将实施

发布日期：2026-02-01

实施日期：2025-08-01

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G86

国际标准分类：71.100.20

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准委

标准类别：产品

代替标准：GB/T 14603-2009,GB/T 26251-2010,GB/T 18994-2014,GB/T 14602-2014,GB/T 17874-2021

起草单位：昊华气体有限公司西南分公司山东合益气体股份有限公司北京华宇同方化工科技开发有限公司大连华邦化学有限公司福建永晶科技股份有限公司上海栎智半导体科技有限公司浙江英德赛半导体材料股份有限公司同方威视技术股份有限公司宁波从越科技创新有限公司福建久策气体股份有限公司大连科利德半导体材料股份有限公司南大光电（乌兰察布）有限公司中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司布鲁克（北京）科技有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司联雄投资(上海)有限公司杭州新世纪混合气体有限公司中国计量大学中国计量测试学会上海凡伟仪器设备有限公司宿州伊维特新材料有限公司 福建德尔科技股份有限公司 浙江瑞亨电子材料有限公司 福建福豆新材料有限公司 浙江中宁硅业股份有限公司 迪森尔（北京）科技有限公司 唐山三友电子化学品有限责任公司 广州广钢气体能源股份有限公司 北京鉴知技术有限公司 天津绿菱气体股份有限公司 北京普瑞分析仪器有限公司 广东华特气体股份有限公司 福建恒申电子材料科技有限公司 中昊光明化工研究设计院有限公司 液化空气（中国）投资有限公司 杭州云必技术有限公司 大连大特气体有限公司 朗析仪器（上海）有限公司 沈阳中复科金压力容器有限公司 北京睿信捷环保科技有限公司 爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处 贵州省产品质量检验检测院 西南化工研究设计院有限公司

起草人：赖晓峰 陈施华 郭晓俊 马建修 李智 孙芳 钱吉 赵斌 李文 李长健 徐正军 郑存强 董晓阳 陆岩柱 黄韬 汤萍 李景升 赵银凤 杨俊豪 王新喜 李庭辉 郑秋艳 常侠 牛迪 赵跃 王军锋 辛伶 杜雨桐 王祥科 张金波 张朋越 赵洁 何波 唐中伟 尹乐乐 周鹏云 杨军李建新李嘉磊王哲军郭琼侯鹏吴希湖刘春花彭佛晓任如倪志远赵晓兰陈志强王红球吴禹强何经余施旖旎陈艳珊刘光宇吕磊滕鑫胜孙福楠殷昊王若雯李安林方华黄辉李建浩李明宫兵杨扬仲夫任希辉程化鹏谈益强唐霞梅