GB/T 45826-2025 光刻用掺钛石英玻璃

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标准编号：GB/T 45826-2025

标准名称：光刻用掺钛石英玻璃

标准类型：推荐性

标准英文：Titania doped silica glass for lithography

标准状态：即将实施

发布日期：2025-12-01

实施日期：2025-05-30

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：玻璃和陶瓷工业

国内标准分类号：Q35

国际标准分类：81.040.30

技术归口：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会

主管部门：中国建筑材料联合会

标准类别：产品

代替标准：

起草单位：湖北菲利华石英玻璃股份有限公司中国国检测试控股集团股份有限公司中国科学院微电子研究所中建材玻璃新材料研究院集团有限公司成都光明光电有限责任公司南通晶体有限公司中国科学院光电技术研究所中国科学院上海光学精密机械研究所上海菲利华石创科技有限公司上海传芯半导体有限公司长沙韶光芯材科技有限公司 中国建筑材料科学研究总院有限公司 玻璃新材料创新中心（安徽）有限公司 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 成都光明光电股份有限公司 威海长和光导科技有限公司 中国计量科学研究院 久智光电子材料科技有限公司 济南光微半导体科技有限公司 神光光学集团有限公司 成都路维光电有限公司 国检测试控股集团重庆检测有限公司

起草人：张寒 聂兰舰 谢常青 张海涛 邵竹锋 王慧 王京侠 李佩悦 刘振禹 毛露路 王世凯 裴广庆 黄婷 秦卫光 黄芸 卢卫民 郑宇辰 李弋舟 刘俊龙夏郭俊沈一春钱宜刚刘焕敏刘亚茹于浩陈卫东云仕东莫大洪曹欣崔剑秋韩甫金晓荣蔡晓峰司继伟王亮亮胡会容