GB/T 18867-2025 电子气体 六氟化硫

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标准编号：GB/T 18867-2025

标准名称：电子气体 六氟化硫

标准类型：推荐性

标准英文：Electronic gas—Sulphur hexaflouride

标准状态：即将实施

发布日期：2025-11-01

实施日期：2025-04-25

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G86

国际标准分类：71.100.20

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准委

标准类别：产品

代替标准：GB/T 18867-2014

起草单位：昊华气体有限公司浙江省化工研究院有限公司上海上芃电气有限公司南大光电（淄博）有限公司广东华特气体股份有限公司昊华气体有限公司西南分公司大连大特气体有限公司联雄投资(上海)有限公司沈阳中复科金压力容器有限公司北京睿信捷环保科技有限公司国网山东省电力公司电力科学研究院国网湖南省电力有限公司电力科学研究院西南化工研究设计院有限公司 福建德尔科技股份有限公司 福建永晶科技股份有限公司 北京普瑞分析仪器有限公司 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司 福建恒申电子材料科技有限公司 中昊光明化工研究设计院有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 杭州新世纪混合气体有限公司 宿州伊维特新材料有限公司 广东电网有限责任公司电力科学研究院 深圳供电局有限公司 上海凡伟仪器设备有限公司

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